ケイエルブイは、ハイパースペクトルカメラ・光学部品・光源など世界中の光学機器を取り扱う専門商社です。

03-3258-1238

お問い合わせ

ケイエルブイ

　

【カタログ】ISTEQ EUV製品
ダウンロードページ

カタログをダウンロードいただけます。

カタログの内容一覧

  • ISTEW社　EUV光源　TEUSシリーズ
    • 製品概要
    • TEUSシリーズの特長
    • アプリケーション
    • TEUSの構造と特性（特性比較）
    • 仕様

　　　　　　　　　

関連ダウンロードコンテンツ

Source Workshop 2024発表資料 | LPP-EUV光源　「LEUS」

2024年オランダのアムステルダムで開催されたSource WorkshopでISTEQ社が発表したLPP-EUV光源の新製品「LEUS（Lithium Extreme Ultraviolet Source）」についての資料がダウンロードできます。（英語版）


比較データで分かる | 高輝度・低デブリを実現したISTEQ社のLPP-EUV光源

回転ターゲットのメリットを、回転数による「飛散デブリの違い（SEM画像）」、「出力の安定度（EUV光出力）」などのデータを用いてまとめた資料がダウンロードいただけます。

カタログダウンロードを希望される方は、以下のフォームに記入をお願いいたします。

[注意] 記載いただきましたメールアドレスに、資料のURLをご連絡させていただきます。